利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
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该波段紫外线光束可分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡与氧分子结合，进而产生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),臭氧对有机物具有极强的氧化作用。
该波段紫外线光束可分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡与氧分子结合，进而产生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),臭氧对有机物具有极强的氧化作用。
臭氧对恶臭气体及其它刺激性异味亦有极强的清除效果，作为强氧化剂进行废气氧化, 裂解恶臭气体分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，**达到脱臭及杀灭细菌的目的。在正常工作下单套185nm波段紫外线光可产生120ppm臭氧，在此臭氧强氧化作用下，对低于1000ppm浓度有机废气只需0.5S左右的时间可氧化成水和二氧化碳。